Сканирующая электронная микроскопия (scanning electron microscopy, SEM)
Сканирующая электронная микроскопия (scanning electron microscopy, SEM) [англ. scan — поле зрения; греч. elektron — смола, янтарь; греч. mikros — малый и scopeo — смотрю, рассматриваю, наблюдаю] — метод анализа поверхностной структуры твердого микрообъекта с помощью электронного микроскопа, заключающийся в просмотре отраженного «электронного изображения». С.э.м. позволяет исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать, а также получать информацию о свойствах подповерхностных структур, заглубленных вплоть до нескольких единиц микрон. Син.: растровая микроскопия.
Смотрите также:
